III族氮化物半导体材料中位错成像的测试透射电子显微镜法

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III族氮化物半导体材料中位错成像的测试透射电子显微镜法

2025-09-05

中文标准名称：III族氮化物半导体材料中位错成像的测试透射电子显微镜法

标准状态：已发布

发布日期

2024-09-29

实施日期

2025-04-01

发布单位

全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)

主要起草人

曾雄辉、董晓鸣、苏旭军、牛牧童、王建峰、徐科、王晓丹、徐军、郭延军、陈家凡、王新强、颜建锋、敖松泉、唐明华、闫宝华、李艳明。

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