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半导体材料术语

2025-09-05

标准号:GB/T 14264—2024

中文标准名称:半导体材料术语

标准状态:已发布

 
发布日期
2024-04-25
实施日期
2024-11-01
发布单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)
 
 
主要起草人
孙燕、贺东江、李素青、宁永铎、丁晓民、朱晓彤、骆红、普世坤、秦榕、杭寅、郑安生、宫龙飞、程凤伶、黄笑容、李国鹏、金鹏、王彬、张雪囡、邱艳梅、刘文明、尹东林、孙聂枫、李寿琴、崔丁方、史舸、潘金平、殷淑仪、由佰玲。

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