标准发布
碳化硅晶体材料缺陷图谱
2025-09-05
标准号：GB/T 43612—2023
中文标准名称：碳化硅晶体材料缺陷图谱
标准状态：已发布
发布日期
2023-12-28
实施日期
2024-07-01
发布单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)
主要起草人
丁雄杰、刘薇、韩景瑞、贺东江、李素青、丁晓民、张红、李焕婷、张红岩、杨昆、李斌、尹浩田、高伟、路亚娟、佘宗静、王阳、钮应喜、晏阳、姚康、金向军、吴殿瑞、李国鹏、张新峰、赵丽丽、张胜涛、夏秋良、李国平。
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