用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片

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用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片

2025-09-05

中文标准名称：用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片

标准状态：已发布

发布日期

2025-08-29

实施日期

2025-08-29

发布单位

第三代半导体产业技术创新战略联盟（CASA）

主要起草人

向鹏、程凯、卢国军、叶念慈、刘成、刘扬、贾利芳、施宜军、刘强、贺致远、黄火林、王中党、曾凡明、康玄武、王钰、王文平、高伟。

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