标准发布
氮化铝抛光片位错密度的测试 腐蚀坑法
2025-09-05
标准号：T/CASAS 053—2025
中文标准名称：氮化铝抛光片位错密度的测试 腐蚀坑法
标准状态：已发布
发布日期
2025-05-20
实施日期
2025-05-20
发布单位
第三代半导体产业技术创新战略联盟（CASA）
主要起草人
王琦琨、吴亮、周振翔、于彤军、程红娟、武红磊、刘志彬、张雷、王广、张童、倪逸舟、岳金顺、王新强、宋德鹏、高伟。
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